|
|
Ionizační detektor sekundárních elektronů pro environmentální rastrovací elektronový mikroskop
Dušek, Petr ; Zimáková, Jana (oponent) ; Čudek, Pavel (vedoucí práce)
Tato práce se zabývá problematikou detekce sekundárních elektronů ionizačním detektorem pro environmentální rastrovací elektronový mikroskop. V práci je vysvětlen rozdíl mezi rastrovacím elektronovým mikroskopem a environmentálním rastrovacím elektronovým mikroskopem. Dále je popsána emise a detekce vybraných signálů vznikajících při interakci primárních elektronů se vzorkem v rastrovacím elektronovém mikroskopu. Důraz je kladen na popis, rozdělení a způsob detekce sekundárních elektronů. V práci je popsán princip funkce ionizačních a scintilačních detektorů. V experimentální části práce je uveden návrh konstrukce tří různých elektrodových systémů deskového ionizačního detektoru pro environmentální rastrovací elektronový mikroskop. Na základě měření s navrženými detektory je vybrán detektor s nejvyšší kvalitou detekce signálu.
|
|
|
Analýza vlivu umístění kónické clony v nadzvukovém proudu v komoře diferenciálního čerpání.
Rous, Miroslav ; Bílek, Michal (oponent) ; Maxa, Jiří (vedoucí práce)
Práce je zaměřena na problematiku simulace dynamiky média v environmentálním rastrovacím elektronovém mikroskopu. Konkrétně se zabývá zkoumáním vlivu umístění kónické clony v diferenciálně čerpané komoře a šířkou čerpacího kanálu v této komoře. Teoretická část práce se zabývá obecně environmentálním rastrovacím mikroskopem a dalšími nástroji použitými v této práci, jako software ANSYS Fluen, turbulence tekutin, střední volná dráha molekul a rozptyl elektronů. V praktické části je práce zaměřena na zpracování dat z programu ANSYS Fluent a na jejich vyhodnocení.
|
|
|
Vliv pracovních podmínek v environmentálním SEM na výsledky EDS
Kaplenko, Oleksii ; Chladil, Ladislav (oponent) ; Čudek, Pavel (vedoucí práce)
Bakalářská práce obsahuje princip funkce environmentálního rastrovacího elektronového mikroskopu (ESEM), problematiku detekce charakteristického rentgenového záření metodou energiově disperzní spektroskopie. Popisuje detekci rentgenového záření pomocí silicon drifted detektoru a také princip kvalitativní a kvantitativní rentgenové mikroanalýzy. Cílem této práce je studium vlivu pracovních podmínek v rastrovacím elektronovém mikroskopu VEGA3 XMU vybaveného Xflash 6 | 10 spektroskopem na výsledky rentgenové mikroanalýzy a jejich vyhodnocení.
|
|
|
Analýza tvaru sacích kanálů současné koncepce diferenciálně čerpané komory
Bílek, Michal ; Vyroubal, Petr (oponent) ; Maxa, Jiří (vedoucí práce)
Diplomová práce se zabývá analýzou tvaru sacích kanálů diferenciálně čerpané komory u současné koncepce. První část této práce nás uvádí do problematiky mikroskopie, následně se zaměřuje na mikroskopy typu ESEM a zahrnuje také popis dynamiky proudění a popis matematický. V dalších kapitolách je popsaný software SolidWorks, v němž je vytvořen model kanálu diferenciálně čerpané komory a program Ansys Fluent sloužící k analýzám. V Druhé části práce jsou popsány navrhované koncepty a výsledky jejich simulací. Závěrem práce jsou tyto výsledky analyzovány a vyhodnoceny.
|
|
|
Vliv úhlu dýzy na rozložení tlaku plynu v dýze podle Prandtlovy teorie
Dostalová, Petra ; Maxa, Jiří (oponent) ; Šabacká, Pavla (vedoucí práce)
Diplomová práce se zabývá problematikou rozložení tlaku v dýze při čerpání diferenciálně čerpané komory environmentálního elektronového mikroskopu a vhodného návrhu této dýzy s ohledem na Prandtlovu teorii. V teoretické části je popsána mikroskopie obecně. Poté se práce zabývá konkrétně environmentální rastrovací elektronovou mikroskopií s problematikou jejího vakuového systému, výpočetními programy a studií, ze které práce vychází. V praktické části jsou vyhodnoceny výsledky matematicko – fyzikálních analýz proudění uvnitř a za Lavalovou tryskou v experimentální komoře, které slouží jako podklad pro volbu správného této trysky Lavalovy trysky.
|
|
|
Analýza vlivu umístění usměrňovače v nadzvukovém proudu v komoře diferenciálního čerpání
Vlasáková, Martina ; Bílek, Michal (oponent) ; Maxa, Jiří (vedoucí práce)
Tato práce se zabývá oblastí komory diferenciálního čerpání environmentálního rastrovacího elektronového mikroskopu, umístěním tlak omezujících clon a vlivem přepážky uvnitř komory. V teoretické části je nejprve popsána Mikroskopie jako věda, informace o mikroskopech (rozdělení mikroskopů) a elektronech. Poté se práce zabývá přímo environmentální rastrovací elektronovou mikroskopí a její problematikou a vakuovým systémem. Dále jsou rozebrány programy pro výpočet daných problémů a jejich princip, simulace, matematické modely a výpočtové oblasti, základní informace o srovnávací studii, ze které práce vychází. V experimentální části jsou uvedeny cíle práce a kapitola věnující se zpracování výsledků, které jsou srovnávány s výchozí studií za použití programu Ansys Fluent.
|
|
|
Vyhodnocení vlivu tvaru otvorů clonek na výsledný tlak na dráze sekundárních elektronů v detektoru pomocí systému CAE
Novotný, Marek ; Špinka, Jiří (oponent) ; Maxa, Jiří (vedoucí práce)
Diplomová práce se zabývá problematikou elektronové mikroskopie. Zkoumaným zařízením je environmentální rastrovací elektronový mikroskop (EREM), konkrétně scintilační detektor tohoto mikroskopu. Je zde řešen vliv profilu otvorů v clonkách na výsledný tlak a proudění plynu na dráze sekundárních elektronů u detektoru. Úvodní část práce seznamuje s mikroskopií obecně, se zaměřením na elektronovou mikroskopií. Z elektronové mikroskopie pak především rastrovacím mikroskopem, protože zkoumání probíhá právě na environmentálním rastrovacím elektronovém mikroskopu. Další část pojednává o obecných principech dynamiky plynů, tak i o metodě konečných objemů. O konkrétním použitém softwaru a nastavení jednotlivých parametrů pro výpočet pojednává další část. Na začátku výpočtu je použito pět základních profilů otvorů v clonkách pro tlak 1000 Pa v komoře vzorku. Pro modelování jednotlivých tvarů je použit 3D parametrický modelář SolidWorks. Analýza proudění sekundárních elektronů detektorem je provedena za pomoci modulu Cosmos FloWorks. Z naměřených modelů je vybrán nejvíce vyhovující typ clonek. Další část práce se zabývá proměřením vybraného typu clonek pro více tlaků v komoře vzorku a to pro tlak 200, 400, 600, 800 a 1000 Pa. Výstupem tohoto zkoumání jsou jak modely tlaku a rychlosti proudění uvnitř detektoru, tak graficky zpracované hodnoty při použití jednotlivých clonek resp. jednoho druhu clonky při různých tlacích. Výrobní výkresy jednotlivých clonek, stejně jako vypočítané modely, jsou uvedeny v příloze práce.
|
|
|
Specifika nastavení řešiče v systému Ansys Fluent pro nízké tlaky v EREM
Šimík, Marcel ; Bílek, Michal (oponent) ; Maxa, Jiří (vedoucí práce)
Tato diplomová práce je zaměřena na oblast elektronové mikroskopie, jejíž problematika je rozebrána na začátku práce. Hlavní pozornost je věnována environmentálnímu elektronovému mikroskopu, zejména diferenciálně čerpané komoře, kterou se práce zabývá. Dochází zde k výrobě experimentální komory pro analýzu rázové vlny, a proto bylo hlavním cílem této diplomové práce analyzovat průběh proudění v této komoře. Pomocí programu Ansys Fluent byly provedeny simulace charakteristického proudění, které vzniká při čerpání vakuových komor a to nadzvukového proudění v nízkých tlacích, na které byl aplikován nejvhodnější turbulentní modul stejně jako stupeň diskretizace. Výsledná analýza tohoto průběhu proudění se zaměřila zejména na lokalizaci rázové vlny, jejíž experimentální důkaz má podat stínová optická metoda, která je součástí nového konceptu komory. Základ pro simulaci dané komory byl převzat od Dr. Danilatose, s nímž byly závěrem této práce vzniklé výsledky porovnávány.
|
|
|
Scintilační detektor sekundárních elektronů pro ESEM
Čudek, Pavel ; Kadlec, Jaromír (oponent) ; Rek, Antonín (oponent) ; Jirák, Josef (vedoucí práce)
Práce se zabývá problematikou scintilačního detektoru sekundárních elektronů pro environmentální rastrovací elektronový mikroskop, včetně jeho návrhu a konstrukce. Východiskem bylo modelování elektrostatických polí v elektrodovém systému detektoru, pohybu elektronů v těchto polích a simulace rozložení tlaků a proudění plynů v jednotlivých částech detektoru. Na základě provedených simulací byly postupně realizovány konstrukční úpravy detektoru. Detekční účinnost jednotlivých verzí detektoru byla určena v práci popsanou metodou vyhodnocování velikosti signálu z pořízených snímků, kvalita snímků byla stanovena z poměru signálu k šumu. V práci je popsán celý postup při úpravách detektoru, od počátečního stavu, kdy detektor pracoval v rozsahu tlaku 300 – 900 Pa vodních par v komoře vzorku mikroskopu s nižší účinností, až po finální verzi detektoru umožňující jeho použití v rozmezí tlaků menších než 10-1 Pa do 1000 Pa vodních par v komoře vzorku mikroskopu.
|
|
|
Scintilační detektor SE pro EREM
Tihlaříková, Eva ; Neděla, Vilém (oponent) ; Jirák, Josef (vedoucí práce)
Tato práce se zabývá problematikou environmentální rastrovací elektronové mikroskopie (EREM). Využití této metody umožňuje sledování nevodivých a vlhkých vzorků bez potřeby speciálních úprav vysoušením a pokovováním. Princip spočívá v použití vyššího tlaku v komoře vzorku, pohybujícího se v rozsahu 100 až 2000 Pa. Plyn v komoře vzorku však omezuje možnosti detekce signálu. Cílem této práce je prozkoumání možnosti ovlivnění detekce signálu sekundárních elektronů pomocí elektrostatického pole. Elektrostatické pole bylo realizováno soustavou čtyř elektrod umístěných před ústí scintilačního detektoru a mělo za úkol ovlivňovat dráhy sekundárních elektronů směrem do komory detektoru. Optimalizace napětí na elektrodách byla provedena pomocí simulačního programu SIMION. Výsledky simulací byly experimentálně ověřeny na laboratorním EREM.
|
host ::
RSS.